LS003_Au-Si_30 | Lprobe soft AFM probe | Vmicro

LS003_Au-Si_30, Lprobe soft, AFM probe (coating Au/Si, tip 30 µm, Vmicro)

特長

探針設計の可能性を広げる新しい MEMS 技術
プロファイル形状を持つ長い探針
小さなコーン角
TrueTipView：優れた探針視認性により試料上へ正確にアプローチ
取り扱いやすい垂直側壁プローブチップ

用途

フォースカーブイメージングモードでのイメージング
- Peakforce Tapping^TM
- フォースボリューム
- Pinpoint^TM
- Q.I.
高アスペクト比構造

仕様

3D schematic of Vmicro LS003 Au-Si 30 AFM probe for force modulation AFM measurements

Parameter	Unit	Nominal	Range
Frequency	kHz	90.0	50-150
Spring constant	N/m	3.0	1-8
Tip height H_t	µm	30.0	15-50
Tip apex radius	nm	7.0	2-10
Tip side angle θ	°	15.0	+/-0.5°
Tip-cantilever angle α	°	118.0	+/-0.5°
Cantilever length L_c	µm	115.0	+/-1
Cantilever width W_c	µm	40.0	+/-1
Cantilever thickness T_c	µm	1.4	+/-0.15
Cantilever backside coating	Au
Tip-side coating	Uncoated
Tip and cantilever material	p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm
Chip dimensions	mm	3.4x1.6x0.4

カンチレバーと探針の詳細

SEM full-view image of Vmicro LS003 Au-Si 30 AFM probe showing complete probe geometry

傾斜探針設計 AFM ヘッドの取り付け角度を補正し、さまざまな試料表面で正確なデータ取得を可能にします。
探針高さ 30 µm 深い領域やアクセスしにくい試料領域のイメージングを可能にします。
探針側壁角 15° 探針と試料のコンボリューションを抑え、より正確な形状測定を実現します。
探針先端半径 7 nm 高度な AFM アプリケーションに信頼性の高い分解能を提供します。