LT020_Al-Si_30 | Lprobe tapping AFM probe | Vmicro

LT020_Al-Si_30, Lprobe tapping, AFM probe (coating Al/Si, tip 30 µm, Vmicro)

特長

探針設計の可能性を広げる新しい MEMS 技術
プロファイル形状を持つ長い探針
小さなコーン角
TrueTipView：優れた探針視認性により試料上へ正確にアプローチ
取り扱いやすい垂直側壁プローブチップ

用途

振動モードでの表面形状イメージング
- タッピングモード
- ノンコンタクトモード
- トゥルーノンコンタクト^TM
Olympus AC160 の最適な代替品
表面粗さ測定
凹凸の大きい試料のナノスケールイメージング
高アスペクト比構造

仕様

3D schematic of Vmicro LT020 Al-Si 30 AFM probe for tapping mode AFM measurements

Parameter	Unit	Nominal	Range
Frequency	kHz	250.0	150-300
Spring constant	N/m	20.0	8-30
Tip height H_t	µm	30.0	15-50
Tip apex radius	nm	7.0	2-10
Tip side angle θ	°	15.0	+/-0.5°
Tip-cantilever angle α	°	118.0	+/-0.5°
Cantilever length L_c	µm	115.0	+/-1
Cantilever width W_c	µm	40.0	+/-1
Cantilever thickness T_c	µm	2.8	+/-0.15
Cantilever backside coating	Al
Tip-side coating	Uncoated
Tip and cantilever material	p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm
Chip dimensions	mm	3.4x1.6x0.4

カンチレバーと探針の詳細

SEM full-view image of Vmicro LT020 Al-Si 30 AFM probe showing complete probe geometry

傾斜探針設計 AFM ヘッドの取り付け角度を補正し、さまざまな試料表面で正確なデータ取得を可能にします。
探針高さ 30 µm 深い領域やアクセスしにくい試料領域のイメージングを可能にします。
探針側壁角 15° 探針と試料のコンボリューションを抑え、より正確な形状測定を実現します。
探針先端半径 7 nm 高度な AFM アプリケーションに信頼性の高い分解能を提供します。