LS003_Al-Si_30 | Lprobe soft AFM probe | Vmicro

LS003_Al-Si_30, Lprobe soft, AFM probe (coating Al/Si, tip 30 µm, Vmicro)

특징

프로브 엔지니어링의 가능성을 여는 새로운 MEMS 기술
프로파일 형상의 긴 팁
낮은 콘 각도
TrueTipView: 정밀한 팁 가시성으로 시료에 정확하게 접근
취급이 쉬운 수직 측벽 프로브 칩

응용 분야

형상 이미징:
- 소프트 태핑 모드
- 힘 변조 모드
거칠기 측정
굴곡이 큰 시료의 나노스케일 이미징
측정이 어려운 높은 종횡비 구조

사양

3D schematic of Vmicro LS003 Al-Si 30 AFM probe for force modulation AFM measurements

Parameter	Unit	Nominal	Range
Frequency	kHz	90.0	50-150
Spring constant	N/m	3.0	1-8
Tip height H_t	µm	30.0	15-50
Tip apex radius	nm	7.0	2-10
Tip side angle θ	°	15.0	+/-0.5°
Tip-cantilever angle α	°	118.0	+/-0.5°
Cantilever length L_c	µm	115.0	+/-1
Cantilever width W_c	µm	40.0	+/-1
Cantilever thickness T_c	µm	1.4	+/-0.15
Cantilever backside coating	Al
Tip-side coating	Uncoated
Tip and cantilever material	p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm
Chip dimensions	mm	3.4x1.6x0.4

캔틸레버 및 팁 세부 정보

SEM full-view image of Vmicro LS003 Al-Si 30 AFM probe showing complete probe geometry

기울어진 팁 설계 AFM 헤드의 장착 각도를 보정하여 다양한 시료 표면에서 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다.
팁 높이 30 µm 깊거나 접근하기 어려운 시료 영역의 이미징이 가능합니다.
팁 측면각 15° 팁과 시료 간 컨볼루션을 최소화하여 형상을 더욱 정확하게 측정합니다.
팁 선단 반경 7 nm 고급 AFM 응용 분야에 신뢰할 수 있는 분해능을 제공합니다.