LS003_Au-Si_30 | Lprobe soft AFM probe | Vmicro

LS003_Au-Si_30, Lprobe soft, AFM probe (coating Au/Si, tip 30 µm, Vmicro)

特点

新型 MEMS 技术突破探针工程限制
具有轮廓化形状的长针尖
低锥角
TrueTipView：清晰可见的针尖确保在样品上准确落针
垂直侧壁探针芯片，便于操作

应用

力曲线成像模式下的成像
- Peakforce Tapping^TM
- 力-体积
- Pinpoint^TM
- Q.I.
高难度深宽比结构

规格

3D schematic of Vmicro LS003 Au-Si 30 AFM probe for force modulation AFM measurements

Parameter	Unit	Nominal	Range
Frequency	kHz	90.0	50-150
Spring constant	N/m	3.0	1-8
Tip height H_t	µm	30.0	15-50
Tip apex radius	nm	7.0	2-10
Tip side angle θ	°	15.0	+/-0.5°
Tip-cantilever angle α	°	118.0	+/-0.5°
Cantilever length L_c	µm	115.0	+/-1
Cantilever width W_c	µm	40.0	+/-1
Cantilever thickness T_c	µm	1.4	+/-0.15
Cantilever backside coating	Au
Tip-side coating	Uncoated
Tip and cantilever material	p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm
Chip dimensions	mm	3.4x1.6x0.4

悬臂梁和针尖详情

SEM full-view image of Vmicro LS003 Au-Si 30 AFM probe showing complete probe geometry

倾斜针尖设计 补偿 AFM 探头的安装角度，确保在各种样品表面上获得准确数据。
针尖高度 30 µm 可对更深或难以接近的样品区域进行成像。
针尖侧壁角 15° 最大限度减少针尖与样品的卷积效应，从而实现更准确的形貌测量。
针尖顶端半径 7 nm 为先进 AFM 应用提供可靠的分辨率。