特点
- 新型 MEMS 技术突破探针工程限制
- 长针尖减少电学模式中的悬臂梁伪影
- 锥角和针尖-悬臂梁夹角可通过设计自由选择
- TrueTipView：清晰可见的针尖可在样品上准确落针
- 垂直侧壁探针芯片，便于操作
应用
- 电学模式
- 静电力显微镜（EFM）
- 开尔文探针力显微镜（KPFM）
规格
| Parameter | Unit | Nominal | Range |
|---|---|---|---|
| Frequency | kHz | 250.0 | 150-300 |
| Spring constant | N/m | 20.0 | 8-30 |
| Tip height Ht | µm | 30.0 | 15-50 |
| Tip apex radius | nm | 25.0 | 20-35 |
| Tip side angle θ | ° | 15.0 | +/-0.5° |
| Tip-cantilever angle α | ° | 118.0 | +/-0.5° |
| Cantilever length Lc | µm | 115.0 | +/-1 |
| Cantilever width Wc | µm | 40.0 | +/-1 |
| Cantilever thickness Tc | µm | 2.8 | +/-0.15 |
| Cantilever backside coating | Pt | ||
| Tip-side coating | Pt | ||
| Tip and cantilever material | p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm | ||
| Chip dimensions | mm | 3.4x1.6x0.4 | |
悬臂梁和针尖详情
- 倾斜针尖设计 补偿 AFM 探头的安装角度，确保在各种样品表面上获得准确数据。
- 针尖高度 30 µm 可对更深或难以接近的样品区域进行成像。
- 针尖侧壁角 15° 最大限度减少针尖与样品的卷积效应，从而实现更准确的形貌测量。
- 针尖顶端半径 25 nm 为先进 AFM 应用提供可靠的分辨率。