LS003_Pt-Pt_30 | Lprobe conductive AFM probe | Vmicro

LS003_Pt-Pt_30, Lprobe conductive, AFM probe (coating Pt/Pt, tip 30 µm, Vmicro)

特點

新型 MEMS 技術突破探針工程限制
長探針減少電學模式中的懸臂樑偽影
錐角和探針-懸臂樑夾角可透過設計自由選擇
TrueTipView：清晰可見的探針可在樣品上準確落針
垂直側壁探針晶片，便於操作

應用

電學模式
- 靜電力顯微鏡（EFM）
- 開爾文探針力顯微鏡（KPFM）

規格

3D schematic of Vmicro LS003 Pt-Pt 30 AFM probe for conductive and electrical AFM modes

Parameter	Unit	Nominal	Range
Frequency	kHz	90.0	50-150
Spring constant	N/m	3.0	1-8
Tip height H_t	µm	30.0	15-50
Tip apex radius	nm	25.0	20-35
Tip side angle θ	°	15.0	+/-0.5°
Tip-cantilever angle α	°	118.0	+/-0.5°
Cantilever length L_c	µm	115.0	+/-1
Cantilever width W_c	µm	40.0	+/-1
Cantilever thickness T_c	µm	1.4	+/-0.15
Cantilever backside coating	Pt
Tip-side coating	Pt
Tip and cantilever material	p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm
Chip dimensions	mm	3.4x1.6x0.4

懸臂樑與探針詳情

SEM full-view image of Vmicro LS003 Pt-Pt 30 AFM probe showing complete probe geometry

傾斜探針設計 補償 AFM 探頭的安裝角度，確保在各種樣品表面上獲得準確資料。
探針高度 30 µm 可對更深或難以接近的樣品區域進行成像。
探針側壁角 15° 最大限度減少探針與樣品的卷積效應，從而實現更準確的形貌測量。
探針尖端半徑 25 nm 為先進 AFM 應用提供可靠的解析度。