LS003_Al-Si_30 | Lprobe soft AFM probe | Vmicro

LS003_Al-Si_30, Lprobe soft, AFM probe (coating Al/Si, tip 30 µm, Vmicro)

特點

新型 MEMS 技術突破探針工程限制
具有輪廓化形狀的長探針
低錐角
TrueTipView：清晰可見的探針確保在樣品上準確落針
垂直側壁探針晶片，便於操作

應用

形貌成像：
- 軟輕敲模式
- 力調變模式
粗糙度測量
高度起伏樣品的奈米尺度成像
高難度深寬比結構

規格

3D schematic of Vmicro LS003 Al-Si 30 AFM probe for force modulation AFM measurements

Parameter	Unit	Nominal	Range
Frequency	kHz	90.0	50-150
Spring constant	N/m	3.0	1-8
Tip height H_t	µm	30.0	15-50
Tip apex radius	nm	7.0	2-10
Tip side angle θ	°	15.0	+/-0.5°
Tip-cantilever angle α	°	118.0	+/-0.5°
Cantilever length L_c	µm	115.0	+/-1
Cantilever width W_c	µm	40.0	+/-1
Cantilever thickness T_c	µm	1.4	+/-0.15
Cantilever backside coating	Al
Tip-side coating	Uncoated
Tip and cantilever material	p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm
Chip dimensions	mm	3.4x1.6x0.4

懸臂樑與探針詳情

SEM full-view image of Vmicro LS003 Al-Si 30 AFM probe showing complete probe geometry

傾斜探針設計 補償 AFM 探頭的安裝角度，確保在各種樣品表面上獲得準確資料。
探針高度 30 µm 可對更深或難以接近的樣品區域進行成像。
探針側壁角 15° 最大限度減少探針與樣品的卷積效應，從而實現更準確的形貌測量。
探針尖端半徑 7 nm 為先進 AFM 應用提供可靠的解析度。