特長
- 新しい MEMS 技術
- 長い探針：AFM の測定能力を拡張
- 角度設計を施した高プロファイル探針
- 探針の視認性により正確なアプローチを実現
- 安全に取り扱える垂直側壁チップ
仕様
| Parameter | Unit | Nominal | Range |
|---|---|---|---|
| Frequency | kHz | 110.0 | 150-300 |
| Spring constant | N/m | 40.0 | 24-55 |
| Tip height Ht | µm | 100.0 | 75-120 |
| Tip apex radius | nm | 50.0 | 35-75 |
| Tip side angle θ | ° | 15.0 | +/-0.5° |
| Tip-cantilever angle α | ° | 118.0 | +/-0.5° |
| Cantilever length Lc | µm | 115.0 | +/-1 |
| Cantilever width Wc | µm | 40.0 | +/-1 |
| Cantilever thickness Tc | µm | 3.3 | +/-0.15 |
| Cantilever backside coating | P2 | ||
| Tip-side coating | P2 | ||
| Tip and cantilever material | p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm | ||
| Chip dimensions | mm | 3.4x1.6x0.4 | |
カンチレバーと探針の詳細
- 傾斜探針設計 AFM ヘッドの取り付け角度を補正し、さまざまな試料表面で正確なデータ取得を可能にします。
- 探針高さ 30 µm 深い領域やアクセスしにくい試料領域のイメージングを可能にします。
- 探針側壁角 15° 探針と試料のコンボリューションを抑え、より正確な形状測定を実現します。
- 探針先端半径 50 nm 高度な AFM アプリケーションに信頼性の高い分解能を提供します。