특징
- 프로브 엔지니어링의 가능성을 여는 새로운 MEMS 기술
- 프로파일 형상의 긴 팁
- 낮은 콘 각도
- TrueTipView: 정밀한 팁 가시성으로 시료에 정확하게 접근
- 취급이 쉬운 수직 측벽 프로브 칩
응용 분야
- 진동 모드의 형상 이미징
- 태핑 모드
- 비접촉 모드
- 트루 비접촉TM
- 거칠기 측정
- 굴곡이 큰 시료의 나노스케일 이미징
- 측정이 어려운 높은 종횡비 구조
사양
| Parameter | Unit | Nominal | Range |
|---|---|---|---|
| Frequency | kHz | 300.0 | 200-350 |
| Spring constant | N/m | 40.0 | 24-55 |
| Tip height Ht | µm | 30.0 | 15-50 |
| Tip apex radius | nm | 7.0 | 2-10 |
| Tip side angle θ | ° | 15.0 | +/-0.5° |
| Tip-cantilever angle α | ° | 118.0 | +/-0.5° |
| Cantilever length Lc | µm | 115.0 | +/-1 |
| Cantilever width Wc | µm | 40.0 | +/-1 |
| Cantilever thickness Tc | µm | 3.3 | +/-0.15 |
| Cantilever backside coating | Al | ||
| Tip-side coating | Uncoated | ||
| Tip and cantilever material | p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm | ||
| Chip dimensions | mm | 3.4x1.6x0.4 | |
캔틸레버 및 팁 세부 정보
- 기울어진 팁 설계 AFM 헤드의 장착 각도를 보정하여 다양한 시료 표면에서 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다.
- 팁 높이 30 µm 깊거나 접근하기 어려운 시료 영역의 이미징이 가능합니다.
- 팁 측면각 15° 팁과 시료 간 컨볼루션을 최소화하여 형상을 더욱 정확하게 측정합니다.
- 팁 선단 반경 7 nm 고급 AFM 응용 분야에 신뢰할 수 있는 분해능을 제공합니다.
Technical data
Specifications
| Parameter | Unit | Nominal | Range |
|---|---|---|---|
| Frequency | kHz | 300 | 200-350 |
| Spring constant | N/m | 40 | 24-55 |
| Tip height Ht | µm | 30 | 15-50 |
| Tip apex radius | nm | 7 | 2-10 |
| Tip side angle θ | ° | 15 | ± 0.5 |
| Tip-cantilever angle α | ° | 118 | ± 0.5 |
| Cantilever length Lc | µm | 115 | ± 1 |
| Cantilever width Wc | µm | 40 | ± 1 |
| Cantilever thickness Tc | µm | 3.3 | ± 0.5 |
| Cantilever backside coating | Aluminum | ||
| Tip side coating | Uncoated | ||
| Tip and cantilever material | p-type Silicon 0.01–0.02 Ω·cm | ||
| Chip dimensions | mm | 3.4 × 1.6 × 0.4 | |
Probe geometry
Cantilever & tip details
Tilted tip design
Compensates for the AFM head mounting angle, ensuring accurate data on diverse sample surfaces.
Tip height >30 µm
Enables imaging of deeper or difficult-to-access sample regions.
Half-cone angle <10°
Minimizes tip-sample convolution, ensuring more accurate morphological measurements.
Guaranteed tip radius <10 nm
Provides reliable resolution for advanced AFM applications.