LF020_Pd-Si_15, Lprobe fast, AFM probe (coating Pd/Si, tip 15 µm, Vmicro)

特長

新しい MEMS 技術
角度設計を施した高プロファイル探針
探針の視認性により正確なアプローチを実現
安全に取り扱える垂直側壁チップ

用途

振動モードでの高速表面形状イメージング
- タッピングモード
- ノンコンタクトモード
- WaveMode^TM
表面粗さ測定
凹凸の大きい試料のナノスケールイメージング
高アスペクト比構造

LprobeFast20 Pd-Si

350.00 €

QuantityPrice

10 AFM probes 1 box of 10 probes unit price 35.00 € 350.00 €

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Order code: LF020_Pd-Si_15_GB10

Packaging: GB10

仕様

3D schematic of Vmicro LF020 Pd-Si 15 AFM probe for WaveMode-compatible AFM measurements

Parameter	Unit	Nominal	Range
Frequency	kHz	1500.0	200-350
Spring constant	N/m	40.0	24-55
Tip height H_t	µm	15.0	15-50
Tip apex radius	nm	7.0	2-10
Tip side angle θ	°	15.0	+/-0.5°
Tip-cantilever angle α	°	118.0	+/-0.5°
Cantilever length L_c	µm	40.0	+/-1
Cantilever width W_c	µm	10.0	+/-1
Cantilever thickness T_c	µm	3.3	+/-0.15
Cantilever backside coating	A2
Tip-side coating	A2
Tip and cantilever material	p-doped Silicon 0.01-0.02 ohm-cm
Chip dimensions	mm	3.4x1.6x0.4

カンチレバーと探針の詳細

SEM full-view image of Vmicro LF020 Pd-Si 15 AFM probe showing complete probe geometry

傾斜探針設計 AFM ヘッドの取り付け角度を補正し、さまざまな試料表面で正確なデータ取得を可能にします。
探針高さ 15 µm 深い領域やアクセスしにくい試料領域のイメージングを可能にします。
探針側壁角 22° 探針と試料のコンボリューションを抑え、より正確な形状測定を実現します。
探針先端半径 7 nm 高度な AFM アプリケーションに信頼性の高い分解能を提供します。